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FARO® Knowledge Base

ION、X および Xi Laser Trackerの主なコンポーネントのトレーサビリティ

FARO Laser Tracker

概要

適切に校正されている FARO レーザートラッカー(ION、X、Xi)は、国際および国内規格を認識するために追跡可能な測定データを提供しています。レーザトラッカーシステムの主要なコンポーネントは、温度センサ、気圧センサ、2つの角度エンコーダ、干渉計、絶対距離計 (ADM) が挙げられます。

ウェザー ステーション

ADM の場合、レーザ光の位相シフトは、基準発振器の周波数と、一般的な環境関数により求められます。オプションの IFM (干渉計)の場合、空気中でのレーザ光の波長は、真空中の波長および一般的な環境関数により求められます。従って精度の良い測定を行うには、ADM と IFM の両方が測定環境の条件に依存しているため、温度、圧力、および湿度センサから得られる環境関数の反映が確立されなければなりません。

温度センサー

トラッカーリモート温度センサーはNIST トレーサブル標準精度温度センサに読取値を比較することによって、工場で校正されます。 トレーサビリティは、証明書に記載された日付に基づいてキャリブレーションが必要です。

圧力センサー

トラッカーの圧力センサは、NIST トレーサブル標準精密圧力センサの測定値を比較することによって、工場で校正されます。 トレーサビリティは、証明書に記載された日付に基づいてキャリブレーションが必要です。

湿度センサー

FARO レーザートラッカーの湿度センサーは、独立した相対湿度の読みとの測定値を比較することにより、工場出荷時に確認されます。

オプションの干渉計

ヘリウムネオン(HeNe) レーザー光源は、製造工程中の NIST トレーサブルの HeNe 源で校正されます。 この認定は、レーザーの寿命のために有効です。 IFM システムで撮影された測定のための NIST の追跡可能性はオプションASME B89.4.19 システム・キャリブレーション標準を介して使用できます。

ADM システム

ADM 周波数発振器は、グローバル GPS ネットワーク内セシウムクロックを使用して校正されます。 ADM システムは、非常に正確なIFM システムで補正し、工場で校正しています。 これらの校正は、システムの寿命のために優れているワンタイム工場出荷時のキャリブレーションです。 ADM システムと測定のための NIST の追跡可能性はオプションASME B89.4.19 システム・キャリブレーション標準で入手することができます。

角度エンコーダー

トラッカーの角度エンコーダは、製造またはサービスのプロセスの間に、基準エンコーダに対してマッピングされています。 使用エンコーダは、NIST のtracable 基準と比較されています。 トラッカーの完全な角度システムで撮影された測定のための NIST の追跡可能性はオプションASME B89.4.19 システム・キャリブレーション標準で入手することができます。

SMR (Spherically Mounted Retroreflector)

トラッカー測定値の精度は、以下の SMR の特性に依存します。

  • ボールの直径
  • 中心の高さ
  • 偏光特性
  • 光学系の平面度
  • 二面角誤差

FARO によって認定されたSMR を使用する場合にかぎりトラッカーの仕様は有効です。 SMR の誤った取り扱いは、上記の特性の1つまたは複数に影響を与え、トラッカー測定の精度を低下させる原因となります。

 

参照リンク

 

 

キーワード

トレサビリティー、 ADM、 干渉計、温度センサー、b89、追跡、 認証、 NIST、校正、補正